大功率X光源和浸入式磁透镜设计以获取检测灵敏度。
大平均半径的双聚焦半球能量分析器，可以获得谱线能量分辨。
二维阵列延迟线检测器，可以同时记录光电子的信号强度及其发射位置，亦可以在数秒的时间里获取完整的XPS谱图。
同源中和器，具备无阴影荷电中和能力，且对于表面凸凹不平的样品，可实现精准电荷中和。
标配单色化Al阳极，亦可选购单色化的Al/Ag双阳极，并且单色化阳极靶可以更换多个新鲜靶点，很大地延长了阳极靶的使用寿命。
标配进样室定位光学显微镜，可以在进样预抽真空时定位多样品的分析位置，然后转入分析室实施自动分析。
