一台大面积三维光学轮廓仪，结合了六种成像和分析技术——共焦点、白光干涉法、光谱薄膜厚度、暗场、可变对焦、AFM和拉曼——安装在300毫米×300毫米电动级上。因此，它使得在单一平台上实现晶圆级和大组分表面计量。
